流体供给设备

摘要

一种供如半导体制造设备中气体供给系统用的流体供给设备，它使得有可能在开始供给流体或流体转换时高精度控制流体流速而不产生流体的瞬时过冲现象。本发明的流体供给设备包括：压力流量控制器，用来调节流体的流率；流体转换阀，用来打开和关闭压力流量控制器次级侧的流体通道；以及流体供给控制单元，用来控制压力流量控制器和流体转换阀的操作；压力流量控制器包括：注流孔5；设置在注流孔5上游侧的控制阀1；设置在控制阀1和注流孔5之间的压力检测器3；以及计算控制单元6，它把流率信号Qc和流率指定信号Qs之间的差值作为控制信号Qy输入到控制阀1的驱动器2，流率信号Qc是利用流率Qc＝KP₁(K＝常数)、根据由压力检测器3检测到的压力P₁计算的；其中，通过借助打开和关闭控制阀1来调节注流孔上游侧的压力P₁而控制注流孔5下游侧的流率。

主权项

1.一种流体供给设备，它包括：并排设置的三个压力流量控制器(C1-C3)，用来分别控制流体的流率；三个高速起动型流体转换阀(D1-D3)，分别用来打开和关闭各个所述压力流量控制器(C1-C3)的次级侧的流体通道(L1-L3)；将上述各个高速起动型流体转换阀(D1-D3)的出口侧分别连通的管路，并连接流体消耗装置(E)；和流体供给控制单元(B)，用来对所述压力流量控制器(C1-C3)供给规定的流量设定信号(QS1-QS3)，并且控制各个高速起动型流体转换阀(D1-D3)的操作；所述压力流量控制器(C1-C3)分别包括：注流孔(5)；设置在注流孔(5)上游的控制阀(1)；设置在控制阀(1)和注流孔(5)之间的压力检测器(3)；以及计算控制单元(6)，它把流率信号Qc和流率指定信号Qs之间的差值作为控制信号Qy输入到所述控制阀(1)的驱动器(2)，所述流率信号Qc是利用公式Qc＝KP1计算的，其中K＝常数，P1 是由压力检测器(3)检测到的压力；不同种类的流体分别输送到各个所述压力流量控制器(C1-C3)的初级侧；并且通过借助打开和关闭所述控制阀(1)来调节所述注流孔(5)上游侧的压力P1而控制所述注流孔(5)下游侧的流率在设定值，而防止高速起动型流体转换阀(D1-D3)的开放时的流体的过冲。