| 发明名称 |
Laser chamber incorporating ceramic insulators coated with dielectric material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0963015(B1) |
申请公布日期 |
2003.11.05 |
| 申请号 |
EP19990110581 |
申请日期 |
1999.06.01 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
ISHIHARA, TOSHIHIKO;MORTON, RICHARD G. |
| 分类号 |
H01S3/03;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/03 |
主分类号 |
H01S3/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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