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发明名称 SILICON ON INSULATOR STANDOFF AND METHOD FOR MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 AU2003222674(A1) 申请公布日期 2003.11.03
申请号 AU20030222674 申请日期 2003.04.21
申请人 GLIMMERGLASS NETWORKS, INC. 发明人 JAMES, P. SPALLAS;ANDRES FERNANDEZ;THOMAS DEBEY;LAWRENCE, P. MURAY
分类号 B81B3/00;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/461;H01L21/76;H01L21/30;H01L21/46;H01L21/302 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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