| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR THE CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF WORKPIECES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003227044(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.03 |
| 申请号 |
AU20030227044 |
申请日期 |
2003.03.11 |
| 申请人 |
PETER WOLTERS SURFACE TECHNOLOGIES GMBH AND CO. KG |
发明人 |
THOMAS KELLER;ULRICH ISING;MARC REICHMANN |
| 分类号 |
B24B37/34;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B37/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
