| 主权项 |
1.一种用于基材传送机械手臂的终端作用器组件,至少包含:一终端作用器;多数金属垫,具有一上表面及一下表面,下表面系安排于该终端作用器的第一侧;及一聚合物垫,安排于每一金属垫上,该聚合物垫具有一顶表面及一底表面,其中金属垫的上表面的曝露部份对聚合物垫的顶表面的比例为至少约3.5:1。2.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫为白色。3.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫在该聚合物垫的一上表面被涂覆以一含氟聚合物。4.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫系在该聚合物垫的顶面上涂覆以一含氟聚合物。5.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫被固定至该金属垫。6.如申请专利范围第5项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫系被打桩、螺丝固定、螺栓固定、铆接、黏着、橡胶硬化或模制至金属垫上。7.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫具有一低于7的放射率。8.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫被镜面抛光至至少4rms或更平滑。9.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫系被电解抛光。10.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫包含铝。11.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫更包含一唇部,由该上表面延伸至该聚合物垫的顶面上的一位准。12.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器包含陶瓷或石英材料。13.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器包含安排于一第一侧上之金属层。14.如申请专利范围第13项所述之终端作用器组件,其中上述之金属层系为铝。15.如申请专利范围第13项所述之终端作用器组件,其中上述之金属层系被电解抛光或镜面抛光。16.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器更包含:一基座部份;一第一构件,由该基座部份延伸至一第一端;及一第二构件,由该基座部份并与该第一构件呈分隔关系延伸至一第二端,该第一构件及该第二构件具有至少两基材支撑件安排于其上,每一基材支撑件包含一金属垫及一聚合物垫。17.如申请专利范围第1项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫的顶面被作出图案。18.如申请专利范围第17项所述之终端作用器组件,其中上述之图案包含多数小凹坑或突出物、一栅、一网目、多数凹槽或肋部。19.一种用于基材传送机械手臂的终端作用器组件,至少包含:一终端作用器;及多数聚合物垫,安排于该终端作用器上,该聚合物垫具有一顶面,适用以支撑一基材及一底面;及一含氟聚合物涂层,安排于该聚合物垫的顶面上。20.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,更包含:一金属垫,安排于每一聚合物垫及终端作用器之间,该金属垫具有一上表面及一下表面,该下表面安排于该终端作用器的一第一侧上,其中该金属垫的上表面的曝露部份对该聚合物垫的顶面的比例系至少约3.5:1。21.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫为白色。22.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫系被打桩、螺丝固定、螺栓固定、铆接、黏着、橡胶硬化或模制至终端作用器上。23.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫具有一低于7的放射率。24.如申请专利范围第20项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫被镜面抛光至至少4rms或更平滑。25.如申请专利范围第20项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫系被电解抛光。26.如申请专利范围第20项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫更包含一唇部,由该上表面延伸至该聚合物垫的顶面上的一位准。27.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器包含陶瓷或石英材料。28.如申请专利范围第27项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器包含安排于一第一侧上之金属层。29.如申请专利范围第28项所述之终端作用器组件,其中上述之金属层系为铝。30.如申请专利范围第28项所述之终端作用器组件,其中上述之金属层系被电解抛光或镜面抛光。31.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器更包含:一基座部份;一第一构件,由该基座部份延伸至一第一端;及一第二构件,由该基座部份并与该第一构件呈分隔关系延伸至一第二端,该第一构件及该第二构件具有至少两基材支撑件安排于其上,每一基材支撑件包含一金属垫及一聚合物垫。32.如申请专利范围第19项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫的顶面被作出图案。33.如申请专利范围第32项所述之终端作用器组件,其中上述之图案包含多数小凹坑或突出物、一栅、一网目、多数凹槽或肋部。34.一种用于基材传送机械手臂的终端作用器组件,至少包含:一终端作用器;多数金属垫,具有一上表面及一下表面,该下表面系安排于该终端作用器的第一侧上;及一聚合物垫,安排于每一金属垫上,该聚合物垫具有一顶面及一底面,其中该金属垫的上表面曝露部份对聚合物垫的顶面的比例系至少约3.5:1;及一含氟聚合物涂层,安排于该聚合物垫的至少顶面上。35.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫为白色。36.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫系被打桩、螺丝固定、螺栓固定,铆接、黏着、橡胶硬化或模制至金属垫上。37.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫具有一低于7的放射率。38.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫被镜面抛光至至少4rms或更平滑。39.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫系被电解抛光。40.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之金属垫更包含一唇部,由该上表面延伸至该聚合物垫的顶面上的一位准。41.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器包含陶瓷或石英材料。42.如申请专利范围第41项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器包含安排于一第一侧上之金属层。43.如申请专利范围第42项所述之终端作用器组件,其中上述之金属层系为铝。44.如申请专利范围第42项所述之终端作用器组件,其中上述之金属层系被电解抛光或镜面抛光。45.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之终端作用器更包含:一基座部份;一第一构件,由该基座部份延伸至一第一端;及一第二构件,由该基座部份并与该第一构件呈分隔关系延伸至一第二端,该第一构件及该第二构件具有至少两基材支撑件安排于其上,每一基材支撑件包含一金属垫及一聚合物垫。46.如申请专利范围第34项所述之终端作用器组件,其中上述之聚合物垫的顶面被作出图案。47.如申请专利范围第46项所述之终端作用器组件,其中上述之图案包含多数小凹坑或突出物、一栅、一网目、多数凹槽或肋部。图式简单说明:第1图为一处理系统实施例的平面图;第2图为一传送机械手臂实施例的平面图;第3图为第2图之支撑件实施例沿着线3-3所取之剖面图;第4图为第3图之支撑件沿着线4-4所取之剖面图;第5图为第2图之中央支撑件实施例沿着线5-5所取之剖面图;第6图为另一中心支撑件实施例的剖面图;第7图为一图表,显示黏至一基材的垫材料百分比对被传送之基材的次数;第8A-F图为一聚合物垫的剖面图;及第9图为一图表,显示用于各种聚合物垫实施例之每曝露时间的温度上升。 |
