| 主权项 |
1.一种电场发光显示装置之制造方法,系将基板与配置在该基板下方之遮罩进行对准,并将电场发光元件材料经由前述遮罩附着形成于前述基板,而形成显示装置之显示部者,其特征为:对前述基板之三个以上的边,以边支持机构支持该等各边,同时进行前述对准。2.如申请专利范围第1项之电场发光显示装置之制造方法,其中,前述边支持机构系采用其与前述基板之接触部在各相对向之边间保持对称性者。3.如申请专利范围第2项之电场发光显示装置之制造方法,其中,前述基板系在与前述遮罩相对向之面之端边,以安置于前述边支持机构之样态加以支持。4.如申请专利范围第1项至第3项中任一项之电场发光显示装置之制造方法,其中,将前述遮罩预先固定于配置在保持台上之遮罩框架(mask frame),而在前述对准后,去除前述边支持机构,在以前述遮罩及遮罩框架之至少一方支持前述基板之状态下,进行前述电场发光元件材料之附着形成。5.如申请专利范围第1至第3项中任一项之电场发光显示装置之制造方法,其中,将前述遮罩预先固定于配置在保持台上之遮罩框架,同时于该等保持台及遮罩框架之至少一方,形成用以支持前述基板之复数个销,并在对于支持前述各边之基板,再以该销支持之状态下进行前述对准。6.如申请专利范围第1项至第3项中任一项之电场发光显示装置之制造方法,其中,至少前述对位作业系在真空容器内进行者。7.如申请专利范围第6项之电场发光显示装置之制造方法,其中,在前述各边已获支持之基板之上面,再以静电吸着支持之状态,进行前述对准。图式简单说明:第1图系由上方观看主动矩阵式EL显示装置之俯视图。第2图(a)及(b)系有关主动矩阵式EL显示装置部份剖面构造之剖视图。第3图系针对本发明之EL显示装置制造方法之第1实施形态,揭示其制造程序之流程图。第4图系揭示该实施形态中真空蒸镀室内之遮罩与玻璃基板之对准样态之斜视图。第5图(a)及(b)系揭示该实施形态中遮罩与玻璃基板之配置样态之俯视图。第6图系以模式化揭示该实施形态中EL元件之蒸镀形成样态之侧视图。第7图(a)至(c)系用以说明玻璃基板之尺寸以及支持样态与该玻璃基板所产生之弯曲之关系图。第8图系揭示该实施形态中玻璃基板之支持样态之斜视图。第9图系揭示本发明EL显示装置之制造方法之第2实施形态中玻璃基板之支持样态之剖视图。第10图系以模式化揭示本发明EL显示装置之制造方法之第3实施形态中玻璃基板之支持样态之剖视图。第11图系揭示该实施形态之EL元件蒸镀形成步骤之流程图。第12图系揭示作为上述各实施形态之变形例之玻璃基板支持样态之俯视图。 |
