| 主权项 |
1.一种压制装置,在可接近、分离的一对平板间设置热板,把加热器插入形成在该热板内部的孔中,在该加热器的外周部分与前述孔内周壁之间形成径方向间隙,该间隙形成供热介质流过的环状断面加热流路,以前述加热器加热该加热流路内的热介质,将前述热板加热,其特征在于:具有温度感测器、控制单元和可控矽单元,前述温度感测器检测与热板温度有关的温度,及输出实测温度信号;前述控制单元接受前述实测温度信号,计算实测温度与目标温度的差値,根据该差値决定前述加热器的加热所需的电力量,输出所需的电力输出信号,执行反馈控制;及前述可控矽单元具有可控矽,根据前述控制单元输出的所需电力输出信号,一方面由可控矽调节供给电力的大小、另一方面将该电力供给前述加热器。2.如申请专利范围第1项所述的压制装置,其特征在于,前述温度感测器安装在前述一对平板的一方,根据该温度感测器的实测温度信号控制供给前述一对平板的电加热器的电力。3.如申请专利范围第1或2项所述的压制装置,其特征在于,前述加热流路与冷却器连接,当前述实测温度或热介质的温度高于规定値时,把从加热流路流出的热介质导向前述冷却器,当前述实测温度或热介质的温度低于预定値时,使热介质绕过冷却器。4.如申请专利范围第3项所述的压制装置,其特征在于,前述规定値设定:在热介质的朝向冷却器导入切换温度与热介质的绕冷却器切换温度间具有滞后现象。5.一种压制装置之控制方法,该控制方法控制的压制装置为:在可接近、分离的一对平板间设置热板,把加热器插入形成在该热板内部的孔中,在该加热器的外周部分与前述孔内周壁之间形成径方向间隙,该间隙形成供热介质流过的环状断面加热流路,以前述加热器加热该加热流路内的热介质,将前述热板加热,其特征在于具有以下步骤:检测与热板温度有关的温度,及输出实测温度信号;接受前述实测温度信号,计算实测温度与目标温度的差値,根据该差値决定加热器的加热所需的电力量,输出所需电力输出信号,实行反馈控制;及根据从控制单元输出的所需电力输出信号,一方面调节可控矽调节供给电力的大小、另一方面将该电力供给加热器。6.如申请专利范围第5项所述压制装置之控制方法,其特征在于:藉安装在前述一对平板的一方上的温度感测器检测与热板温度有关的温度。7.如申请专利范围第5或6项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述加热流路与冷却器连接,当前述实测温度或热介质的温度高于规定値时,把从加热流路流出的热介质导向前述冷却器,当前述实测温度或热介质的温度低于预定値时,使热介质绕过冷却器。8.如申请专利范围第7项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述预定値设定:在热介质的朝向冷却器的导入切换温度与使前述冷却器的绕过切换温度之间具有滞后现象。9.一种压制装置之热板,通过把加热器插入设在热板本体内部的孔中而在该加热器的外周部分与孔的内壁间形成径方向间隙,由该间隙形成环状断面的加热流路,使从热板本体的入口流入的热介质经过加热流路从出口排出,其特征在于:把前述加热器的一端部固定在热板本体的一方侧面,把加热器的另一端部在径方向和轴方向留有间隙地插入设在热板本体另一侧面的底孔内,抑制沿着加热器轴方向流过前述加热流路的热介质所引起加热器的振动。10.如申请专利范围第9项所述压制装置之热板,其特征在于:前述径方向的间隙,其断面积小于加热流路的断面积。11.如申请专利范围第9或10项所述压制装置之热板,其特征在于:前述热板系配置在前述压制装置的一对加压平板间。12.如申请专利范围第9项所述压制装置之热板,其特征在于:前述加热器是电加热器,把向该电加热器供给电力的配线从前述加热器的一端部固定侧引出。13.如申请专利范围第9项所述压制装置之热板,其特征在于:前述加热器的一端部通过法兰部以挟住密封垫的状态固定在热板本体的侧面,前述法兰部设在从热板本体的孔突出的端部。14.如申请专利范围第9项所述压制装置之热板,其特征在于:前述加热流路的断面积小于前述入口和出口的断面积。15.如申请专利范围第14项所述压制装置之热板,其特征在于:前述加热流路的断面积基本等于前述入口及出口的断面积。16.如申请专利范围第9项所述压制装置之热板,其特征在于:前述加热流路之构成为:将相邻的加热流路并排配置,分流其上游的热介质,使其从该并排配置着的各加热流路朝同一方向流动后,在其下游合流。17.如申请专利范围第16项所述压制装置之热板,其特征在于:前述并排配置的加热流路总计断面积基本等于前述入口和出口的断面积。18.如申请专利范围第9项所述压制装置之热板,其特征在于:前述加热流路之构成为:从一端部向另一端部流动热介质的加热流路、和从另一端部向一端部流动热介质的加热流路交替曲折地配置。19.一种压制装置,热板设置在上下一对平板上,其特征在于:前述热板之构成:通过把加热器插入设在热板本体内部的孔内,在该加热器的外周部分与前述孔内周壁之间形成径方向间隙,由该间隙形成环状断面的加热流路,使从热板本体的入口流入的热介质经过前述加热流路从出口排出;并且,将前述加热器的一端部固定在热板本体的一侧面,把前述加热器的另一端部在径方向和轴方向留有间隙地插入设在热板本体另一方侧面侧的底孔内,抑制沿着加热器轴方向在前述加热流路内流动的热介质所引起加热器的振动。20.一种压制装置,热板设置在上下一对平板上,在设在该平板上的热板之间至少配置一个以上的热板,其特征在于:前述热板之构成:通过把加热器插入设在热板本体内部的孔内,在该加热器的外周部分与前述孔内周壁之间形成径方向间隙,由该间隙形成环状断面的加热流路,使从热板本体的入口流入的热介质经过前述加热流路从出口排出;并且,将前述加热器的一端部固定在热板本体的一侧面,把前述加热器的另一端部在径方向和轴方向留有间隙地插入设在热板本体另一方侧面侧的底孔内,抑制沿着加热器轴方向在前述加热流路内流动的热介质所引起加热器的振动。21.一种压制装置,在可接近、分离的一对平板间设置热板,于安装在热板上的加热器和热板内部形成加热流路,借助在包含该加热流路的热介质油循环回路中循环的热介质油将前述热板加热,其特征在于:前述热介质油是矽系热介质油。22.如申请专利范围第21项所述之压制装置,其特征在于:前述热介质油的主要成分是二甲基聚矽氧烷。23.如申请专利范围第21或22项所述之压制装置,其特征在于:前述压制装置可将前述热板加热至350~450℃。24.如申请专利范围第21项所述之压制装置,其特征在于:前述压制装置具有将前述热介质油的压力保持在热介质油蒸气压以上规定范围内的压力调节机构。25.如申请专利范围第24项所述之压制装置,其特征在于:前述压力调节机构通过惰性气体加压热介质油。26.如申请专利范围第25项所述之压制装置,其特征在于:前述惰性气体是氮气。27.如申请专利范围第25或26项所述之压制装置,其特征在于:前述惰性气体通过从热介质循环回路分支的配管蓄积在与热介质循环回路连接着的膨胀箱内,在前述膨胀箱内惰性气体加压热介质油。28.如申请专利范围第27项所述之压制装置,其特征在于:前述压力调节机构将膨胀箱内的惰性气体的压力控制在规定范围内。29.如申请专利范围第28项所述之压制装置,其特征在于:前述压力调节机构具有惰性气体控制机构,该惰性气体控制机构当前述膨胀箱内的惰性气体的压力低于第一压力时,向前述膨胀箱注入前述惰性气体,当前述膨胀箱内的惰性气体的压力高于第二压力时,从膨胀箱中放出惰性气体。30.如申请专利范围第29项所述之压制装置,其特征在于:前述第一压力是2kPa,前述第二压力是5kPa。31.如申请专利范围第21项所述之压制装置,其特征在于:前述压制装置具有把热介质循环回路中生的气体排出的气体排出阀。32.如申请专利范围第31项所述之压制装置,其特征在于:前述气体排出阀安装在气体回收罐上,该气体回收罐设在热介质循环回路内,用于回收热介质循环回路中产生的气体。33.如申请专利范围第32项所述之压制装置,其特征在于:当前述气体回收罐的气体压力超过第三压力时,前述气体排出阀打开,从气体回收罐中放出气体,前述气体排出阀打开后,当气体回收罐的气体压力低于第四压力时,前述气体排出阀关闭。34.如申请专利范围第33项述之压制装置,其特征在于:前述第三压力是4kPa,前述第四压力是2kPa。35.一种压制装置,在可接近、分离的一对平板间设置热板,于安装在热板上的加热器和前述热板内部形成加热流路,借助在包含该加热流路的热介质油循环凹路中循环的热介质油,将前述热板加热,其特征在于:具有热介质油冷却机构,该热介质油冷却机构在前述压制装置将被加工物热压固后冷却时,用于调节热介质油的温度,使前述热板以预定范围内的冷却速度冷却。36.如申请专利范围第35项所述之压制装置,其特征在于:前述热介质油冷却机构具有旁通管路、冷却器和隔膜阀,前述旁通管路从热介质油循环回路分支,并返回到热介质油循环回路;前述冷却器设在前述旁通管路的途中,把通过前述旁通管路的热介质油冷却;及前述隔膜阀安装在前述旁通管路的冷却器上游侧,可调节流向冷却器的热介质油的流量。37.一种压制装置之控制方法,该控制方法控制的压制装置为:在可接近、分离的一对平板间设置热板,于安装在热板上的加热器和热板内部形成加热流路,借助在包含该加热流路的热介质油循环回路中循环的热介质油将前述热板加热,其特征在于:前述热介质油是采用矽系热介质油。38.如申请专利范围第37项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述热介质油的主要成分是二甲基聚矽氧烷。39.如申请专利范围第37或38项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述压制装置热压固被加工物时,可将前述热板加热至350~450℃。40.如申请专利范围第37项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述控制方法中,将热介质油的压力保持在热介质油的蒸气压以上的规定范围内。41.如申请专利范围第40项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述控制方法中,是通过惰性气体加压热介质油。42.如申请专利范围第40项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述惰性气体是采用氮气。43.如申请专利范围第41或42项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述惰性气体,系通过从热介质循环回路分支的配管蓄积在与热介质体循环回路连接着的膨胀箱内,前述控制方法中,在前述膨胀箱内通过惰性气体加压前述热介质油。44.如申请专利范围第43项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述控制方法,系把膨胀箱内的前述惰性气体的压力控制在规定范围内。45.如申请专利范围第44项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述控制方法,当膨胀箱内的惰性气体压力低于第一压力时,向膨胀箱内注入惰性气体,当膨胀箱内的惰性气体压力高于第二压力时,从膨胀箱中放出惰性气体。46.如申请专利范围第45项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述第一压力是2kPa,前述第二压力是5kPa。47.如申请专利范围第37项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述控制方法,系控制气体排出阀以排出热循环回路内生的气体。48.如申请专利范围第47项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述气体排出阀系安装在气体回收罐上,该气体回收罐设在热介质循环回路内,用于回收热介质循环回路内生的气体。49.如申请专利范围第48项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述控制方法,当气体回收罐的气体压力超过第三压力时,打开前述气体排出阀,从气体回收罐中放出气体,在气体排出阀打开后,气体回收罐的气体压力低于第四压力时,关闭前述气体排出阀。50.如申请专利范围第49项所述压制装置之控制方法,其特征在于:前述第三压力是4kPa,前述第四压力是2kPa。51.一种压制装置之控制方法,其特征在于:该控制方法所控制之压制装置为:在可接近、分离的一对平板间设置热板,在安装在热板上的加热器和热板内部形成加热流路,借助在包含该加热流路的热介质油循环回路中循环的热介质油将前述热板加热,前述压制装置热压固被加工物后进行冷却时,调节热介质油的温度,以使前述热板以规定范围的冷却速度冷却。52.如申请专利范围第51项所述压制装置之控制方法,其特征在于:通过控制冷却器和隔膜阀来调节前述热介质油的温度,前述冷却器设在从热介质循环回路中分支后返回热介质循环回路的旁通管路途中,将通过旁通管路的热介质油冷却;前述隔膜阀安装在旁通管路的冷却器上游侧,可调节流向冷却器的前述热介质油流量。图式简单说明:图一是表示本发明压制装置整体的图。图二是表示图一中的热板的断面及其控制电路的图。图三是从图二中的Ⅲ-Ⅲ方向所视之热板的局部断面侧面图。图四是将图二中的电加热器及其安装部分之断面放大图。图五是图四中的电加热器的法兰部安装部分的侧面图。图六是另一实施例之热板的正面断面图。 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