| 摘要 |
Sensor electrónico para la medida de la posición angular de un objeto luminiscente. La presente invención se refiere a un sensor electrónico para la medida de la posición angular de un objeto luminiscente respecto de su vertical consistente en dos obleas de silicio atacadas con reactivos de forma anisotrópica. En una de ellas (2)se difunden los dopajes necesarios para construir un diodo PN (4) lateral y, seguidamente, se efectúa un ataque anisotrópico por su parte inferior, con parada en la zona n. La otra oblea (1) es atacada anisotrópicamente para realizar un orificio (3). Las dos obleas son soldadas, de manera que formen una cavidad en su interior. Por el orificio (3) entra un rayo de luz que incide sobre el diodo que está polarizado inversamente. Por efecto fotoeléctrico aparecen portadores en el punto de incidencia del rayo de luz con la región de deserción de la unión (4). Como resultado aparecen corrientes por los electrodos A y B que permiten determinar el punto de incidencia del rayo, y por consiguiente el ángulo ({ze}) con la vertical.
|
