发明名称 METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC MEMORY CELLS
摘要
申请公布号 KR20030085034(A) 申请公布日期 2003.11.01
申请号 KR20037012312 申请日期 2003.09.22
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8246 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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