发明名称 PRODUCCION DE MONOCRISTALES A GRANEL DE CARBURO DE SILICIO.
摘要 Un método para producir SiC monocristalino a granel, que comprende: vaporizar Si para producir vapor como fuente de Si; introducir el vapor como fuente de Si en un recinto de crecimiento de cristales que contiene una interfase de crecimiento del cristal; proporcionar un gas que contiene CN como una fuente de especies en estado de vapor de carbono en el recinto de crecimiento de cristales; y depositar las especies en estado de vapor de Si y C en la interfase de crecimiento del cristal en condiciones que establecen el crecimiento de SiC monocristalino a granel en ella.
申请公布号 ES2193757(T3) 申请公布日期 2003.11.01
申请号 ES19990954808T 申请日期 1999.10.08
申请人 CREE, INC. 发明人 HUNTER, CHARLES, ERIC
分类号 C30B29/36;C30B23/00;C30B25/00;(IPC1-7):C30B1/00 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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