发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT NOTAMMENT POUR L'OPTIQUE, L'ELECTRONIQUE OU L'OPTOELECTRONIQUE ET SUBSTRAT OBTENU PAR CE PROCEDE
摘要
申请公布号 FR2817394(B1) 申请公布日期 2003.10.31
申请号 FR20000015279 申请日期 2000.11.27
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 LETERTRE FABRICE;GHYSELEN BRUNO
分类号 H01L33/00;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/04;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/328;H01L21/20 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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