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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB1299945(A) 申请公布日期 1972.12.13
申请号 GB19700038492 申请日期 1970.08.10
申请人 VIRIAN ASSOCIATES 发明人 EDSON GREGORY KERSWILL
分类号 C23C14/50;C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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