| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer auf einem Substrat (26) aufgebauten Dünnschichtanordnung, insbesondere Sensoranordnung (20), vorgeschlagen, die ein vergleichsweise dünnes Funktionsschichtsystem aus mehreren Einzelschichten, die als Einheit einen wesentlichen elektrischen Funktionsbestandteil der Dünnschichtanordnung für elektrische Strukturen (41 bis 44) bilden und eine auf der Funktionsschicht aufgebrachte Metallisierung für Kontakte (21, 22) und Leiterbahnen (23) umfasst. Der Kern der Erfindung liegt darin, dass das Funktionsschichtsystem und die Metallisierung nacheinander, ohne dazwischen mit Umgebungsatmosphäre in Kontakt zu kommen, aufgebracht werden, und dass im Anschluss daran die Strukturierung der Schichten vorgenommen wird. Des Weiteren wird eine Dünnschichtanordnung vorgeschlagen, die insbesondere nach diesem Verfahren hergestellt wird.
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