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经营范围
发明名称
FILM-FORMING APPARATUS AND METHOD FOR THE SAME
摘要
申请公布号
KR20030083581(A)
申请公布日期
2003.10.30
申请号
KR20030022986
申请日期
2003.04.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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