Lagerung eines Substrathalterrades mit darin eingebautem/verankertem Substrathalter

摘要

Die Lagerung eines Substrathalterrades mit darin eingebautem/verankertem Substrathalter in einer Anlage zur Beschichtung eines zumindest einseitig beheizbaren Substrats ist derartig aufgebaut, dass bei hohe Prozesstemperaturen, Austreten und Eintauchen in Zonen stark unterschiedlicher Temperaturen kein Blockieren oder keine Antriebslosigkeit des Substrathalterrades auftritt. Ein in ihm eingespanntes Substrat kann sich aufgrund thermischer Einwirkung strecken und zusammenziehen. DOLLAR A Die Baumaterialien für den Schneckenantrieb sind wärme-/hochwärmebeständige Edelstähle und oxidkeramische Materialien für die Lagerkomponenten. Die hängende Lagerung des Substrathalterrades mit der Sperre gegen Herausspringen und die zulässig tolerante Führung der Substratebene neutralisieren thermische Bewegungen, ohne die Rotation im Langzeitbetrieb zu beeinträchtigen.