压力传感器及其制造方法

摘要

一种压力传感器包括圆筒形的传感器封装壳、玻璃座、传感器芯片和一些电极针。玻璃座与传感器封装壳的内表面紧密接合，封闭了传感器封装壳内的一个空间。传感器芯片安装在玻璃座上，在它的与玻璃座相对的表面上有一些电极和一个金属的接合部。接合部与玻璃座的一个表面小片接合。电极针配置成与电极相对，埋入并穿过玻璃座。每个引线件的从玻璃座的这个表面冒出的端部被电连接到相应的电极上。

主权项

1.一种压力传感器，其特征是所述传感器包括：一个圆筒形的传感器封装壳(1)；一个与所述传感器封装壳的内表面紧密接合的玻璃座(2)，封闭所述传感器封装壳内的一个空间；一个安装在所述玻璃座上的传感器芯片(3)，在其与所述玻璃座相对的表面上有一些电极(18，19)和一个金属的接合部(16)，所述接合部小片接合到所述玻璃座的一个表面上；以及一些与所述电极相对配置的、埋入所述玻璃座和穿过所述玻璃座的引线件(4)，所述引线件的从所述玻璃座的所述表面冒出的端部分别与相应的所述电极电连接；所述传感器还包括一个固定在所述玻璃座的所述表面上、与所述接合部相对的金属板(5)；以及所述接合部小片接合到所述金属板上。