发明名称 SEMICONDUCTOR DETECTOR WITH A BASE STRUCTURE AND AT LEAST ONE DEFORMABLE BODY
摘要
申请公布号 EP1015860(B1) 申请公布日期 2003.10.29
申请号 EP19980948797 申请日期 1998.08.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BEVER, THOMAS;SCHMITT, STEPHAN;EHRLER, GUENTER
分类号 G01L9/00;G01L9/04;G01P15/08;G01P15/12;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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