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发明名称 Ion sources
摘要
申请公布号 GB2387963(A) 申请公布日期 2003.10.29
申请号 GB20020030131 申请日期 2002.12.24
申请人 * APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ADRIAN JOHN * MURRELL;DAVID GEORGE * ARMOUR;RICHARD DAVID * GOLDBERG;CHRISTOPHER J S * BURGESS;ERIK J H * COLLART
分类号 H01J1/20;H01J1/46;H01J27/08;H01J27/14;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H05H1/24;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J1/20
代理机构 代理人
主权项
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