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发明名称 Catadioptric optical system and exposure apparatus equipped with the same
摘要
申请公布号 EP1318425(A3) 申请公布日期 2003.10.29
申请号 EP20030000101 申请日期 2000.07.13
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 SUENAGA, YUTAKA;MIYASHITA, TOMOHIRO;YAMAGUCHI, KOTARO
分类号 G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08 主分类号 G02B17/08
代理机构 代理人
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