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发明名称
Apparatus for processing wafers
摘要
申请公布号
EP0853332(B1)
申请公布日期
2003.10.29
申请号
EP19970122754
申请日期
1991.05.14
申请人
SEMITOOL, INC.
发明人
BERGMAN, ERIC J.;REARDON, TIMOTHY J.;THOMPSON, RAYMON F.;OWCZARZ, ALEKSANDER
分类号
H01L21/302;G11B7/26;H01L21/00;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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