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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5036553(B1)	申请公布日期	1975.11.26
申请号	JP19700012143	申请日期	1970.02.13
申请人		发明人
分类号	H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
地址

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