| 发明名称 |
GAS DRIVEN PLANETARY ROTATION APPARATUS AND METHODS FOR FORMING SILICON CARBIDE LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003212902(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030212902 |
申请日期 |
2003.02.04 |
| 申请人 |
CREE, INC. |
发明人 |
MICHAEL, JAMES PAISLEY;JOSEPH, JOHN SUMAKERIS |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C14/50;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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