| 发明名称 |
Deposition methods utilizing phased array microwave excitation, and deposition apparatuses |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003220621(A8) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030220621 |
申请日期 |
2003.03.31 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
CRAIG M. CARPENTER;PHILIP H. CAMPBELL;ROSS S. DANDO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/511;C30B25/10;H01J37/32;H01L21/205;H01Q21/00;(IPC1-7):C23C16/511;C23C16/34;C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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