| 发明名称 |
INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE AND PROJECTION ILLUMINATION INSTALLATION COMPRISING ONE SUCH MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003222799(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030222799 |
申请日期 |
2003.04.05 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
MARTIN SCHRIEVER;ULRICH WEGMANN;HELMUT HAIDNER |
| 分类号 |
G01B9/02;G02B5/02;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G01M11/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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