| 发明名称 |
Improved method for etching vias |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003262125(A8) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030262125 |
申请日期 |
2003.04.07 |
| 申请人 |
UNAXIS USA, INC. |
发明人 |
RUSSELL WESTERMAN;DAVID J. JOHNSON |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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