| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING MATERIAL OF ELECTRONIC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003221059(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030221059 |
申请日期 |
2003.03.31 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
TAKUYA SUGAWARA;YOSHIHIDE TADA;TOMOHIRO OHTA |
| 分类号 |
C23C16/511;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/511 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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