发明名称 POLYSILANE THIN FILMS FOR DIRECTLY PATTERNABLE WAVEGUIDES
摘要
申请公布号 AU2003224891(A1) 申请公布日期 2003.10.27
申请号 AU20030224891 申请日期 2003.04.09
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 JOHN LOCK;KAREN, K. GLEASON;LIONEL, C. KIMERLING
分类号 G02B6/13;G02B6/132;G02B6/138;(IPC1-7):G02B6/122 主分类号 G02B6/13
代理机构 代理人
主权项
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