分类号 |
G02B3/00;B81C1/00;B81C3/00;C03B19/00;C03C4/12;C03C14/00;C03C15/00;C03C17/02;C03C17/34;C03C27/02;C23C14/10;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/768;H01L23/00;H01L23/02;H01L23/10;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/48;H01L23/498;H01L51/50;H01L51/52;H05B33/04;H05B33/10;H05B33/24;H05B33/26;H05B33/28;H05K3/28;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/310;H01L21/311 |
主分类号 |
G02B3/00 |