发明名称 Method for the production of structured layers on substrates
摘要
申请公布号 AU2003232469(A8) 申请公布日期 2003.10.27
申请号 AU20030232469 申请日期 2003.04.15
申请人 SCHOTT AG 发明人 FLORIAN BIECK;DIETRICH MUND;JURGEN LEIB
分类号 G02B3/00;B81C1/00;B81C3/00;C03B19/00;C03C4/12;C03C14/00;C03C15/00;C03C17/02;C03C17/34;C03C27/02;C23C14/10;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/768;H01L23/00;H01L23/02;H01L23/10;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/48;H01L23/498;H01L51/50;H01L51/52;H05B33/04;H05B33/10;H05B33/24;H05B33/26;H05B33/28;H05K3/28;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/310;H01L21/311 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址