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发明名称
A METHOD FOR MAKING LOW-LEAKAGE DRAM STRUCTURES USING SELECTIVE SILICON EPITAXIAL GROWTH (SEG) ON AN INSULATING LAYER
摘要
申请公布号
SG99375(A1)
申请公布日期
2003.10.27
申请号
SG20010005924
申请日期
2001.09.27
申请人
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD
发明人
TEE, KHENG CHOK;RANDALL CHER LIANG, CHA;LAP CHAN
分类号
H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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