| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES DE RUPTURE DE CONSIGNE POUR DETACHER DES SYSTEMES DE COUCHES DEVELOPPEES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2776125(B1) |
申请公布日期 |
2003.10.24 |
| 申请号 |
FR19990000813 |
申请日期 |
1999.01.26 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LAERMER FRANZ;FREY WILHELM;ARTMANN HANS |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/20;H01L21/3063;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/48 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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