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发明名称 Mikromechanisches Gerät mit einem ringförmigen Federkörper
摘要
申请公布号 DE69911335(D1) 申请公布日期 2003.10.23
申请号 DE19996011335 申请日期 1999.06.02
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS 发明人 MEIER, ROBERT E.;KNIPE, RICHARD L.
分类号 G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08;G01C19/56 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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