发明名称 |
SCHLAMMFREI AUFBEREITUNG VON KUPFER-CMP-ABFÄLLEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69905201(T2) |
申请公布日期 |
2003.10.23 |
申请号 |
DE19996005201T |
申请日期 |
1999.08.10 |
申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
DUNGAN, JAMES;HAN, LEON |
分类号 |
B24B57/02;B01J49/00;C02F1/42;C02F1/461;C02F1/467;C02F1/469;C02F11/00;C02F11/12;C25C1/12;(IPC1-7):C02F1/42 |
主分类号 |
B24B57/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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