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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5365086(A)
申请公布日期
1978.06.10
申请号
JP19760140217
申请日期
1976.11.24
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
OGURA ISAO;NATORI KENJI
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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