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发明名称 Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements
摘要
申请公布号 DE50003742(D1) 申请公布日期 2003.10.23
申请号 DE20005003742 申请日期 2000.10.04
申请人 NTI AG, ZUERICH 发明人 SCHMID, KUNO;AUSDERAU, DANIEL;HITZ, DR.-ING.;ROHNER, DR.-ING.
分类号 H02K29/08;H02K41/02;(IPC1-7):H02K41/03;G05B19/23;G05B19/25 主分类号 H02K29/08
代理机构 代理人
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