| 摘要 |
<p>Bei einer Vorrichtung zur deformationsarmen Lagerung eines nicht rotationssymmetrischen optischen Elementes (10), insbesondere eines optischen Elementes in einem Projektionsobjektiv (1) für die Halbleiter-Lithographie, ist dieses in einem Rahmen (21) gelagert, wobei an dem optischen Element (10) wenigstens drei orthogonal zueinander liegende Anbindungsflächen (23) vorgesehen sind, und wobei Anbindungsglieder (22) zur Anbindung an den Rahmen (21) so angeordnet sind, dass durch die Anbindungsglieder (22) jeweils mindestens eine, jedoch maximal zwei Translationsfreiheitsgrade und zwei Rotationsfreiheitsgrade vorgesehen sind.</p> |
