发明名称 EVAPORATION DEVICE
摘要 PURPOSE:To provide the subject device using a charged corpuscular ray wherein a wire net for preventing the fall of flake is provided between the shutter and crucible, thereby preventing projections from generating at the evaporated layer.
申请公布号 JPS545881(A) 申请公布日期 1979.01.17
申请号 JP19770071103 申请日期 1977.06.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOMOSAWA AKIHIRO;SUDOU YOSHIAKI
分类号 C23C14/24;C23C14/22;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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