| 发明名称 |
DEVICE FOR EXPOSING ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS545664(A) |
申请公布日期 |
1979.01.17 |
| 申请号 |
JP19770070628 |
申请日期 |
1977.06.15 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
NAKASUJI MAMORU;SHINOZAKI TOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/305;H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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