| 发明名称 |
Mobile transportable elektrostatische Substrathalter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE20311625(U1) |
申请公布日期 |
2003.10.23 |
| 申请号 |
DE20032011625U |
申请日期 |
2003.07.29 |
| 申请人 |
VENTEC GESELLSCHAFT FUER VENTUREKAPITAL UND UNTERNEHMENSBERATUNG MBH |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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