发明名称
摘要
申请公布号 JPS5416456(B2) 申请公布日期 1979.06.22
申请号 JP19750044338 申请日期 1975.04.14
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/02;H01J9/14;H01J29/07 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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