Verfahren zum Betrachten einer Probe mittels eines Transmissionselektronenmikroskops

摘要

Die Bewegung eines Gesichtsfelds, zu der es durch Verändern der Vergrößerung kommt, wird automatisch korrigiert. Zunächst wird das Gesichtsfeld mit einer ersten Vergrößerung gesucht. Eine Probentischkoordinate für ein spezifiziertes Aufzeichnungsobjekt wird zur Speicherung, für ein auf einem Bildanzeigeabschnitt angezeigtes TEM-Bild einer Probe berechnet. Aus dem TEM-Bild der Probe bei der ersten Vergrößerung wird ein Bild für das Aufzeichnungsobjekt ausgeschnitten und als erstes Bild abgespeichert. Die Vergrößerung des TEM wird auf eine Vergrößerung eingestellt, die doppelt so groß wie diejenige im Aufzeichnungsmodus ist, um den Probentisch auf die abgespeicherte Probentischkoordinate für das Aufzeichnungsobjekt zu verstellen. Das TEM-Bild bei der zweiten Vergrößerung wird mit derselben Anzahl von Pixeln wie im ersten Bild erfasst, um das Bewegungsausmaß zwischen den zwei Bildern aus der Korrelationsstärke betreffend das erste und das zweite Bild zu berechnen. Dann wird die Position des TEM-Bilds bei der zweiten Vergrößerung hinsichtlich der Bildaufnahmeeinrichtung so korrigiert, dass das Bewegungsausmaß null ist, um dann das erhaltene TEM-Bild abzuspeichern (S29).