用高温氧化方法制备透明低阻/高阻复合膜

摘要

高温氧化方法制备透明低阻/高阻复合膜，本项发明所属域为新型光电子材料。本发明主要是采用新的制作工艺，改善太阳能电池所需透明电极的性能，提高太阳能电池的转换效率。在作CdS/CdTe电池过程中，为了提高对紫外光的利用，需要降低CdS薄膜的厚度，同时也为了增强膜层之间的结合力，改善电池的填充因子，需要在透明导电薄膜与CdS层之间增加一层透明高阻过渡层薄膜。用高温氧化方法制备透明低阻/高阻复合膜，一次性将透明导电薄膜处理成透明低阻/高阻复合膜，而无需再用物理或化学方法沉积一层透明高阻膜。该发明减化了生产工艺，大幅降低产品成本。该发明还可用于液晶显示器和塑料显示器的透明电极。

主权项

1.一个使用高温氧化方法制备透明低阻/高阻复合膜的方法。其特征是，在透明低电阻膜(金属氧化物，TCO)的基础上，用高温氧化的方法，让氧离子向透明低电阻薄膜内扩散，对透明低阻膜内的氧缺位进行补偿，从而形成低阻高阻复合膜。