增加透明导电层电导率的方法

摘要

一种增加透明导电层电导率的方法，其中对透明层成型的光阻材料层具有带锥度的边缘并被部分腐蚀。部分腐蚀使被选择性地覆盖的下面的透明导电体的边缘区域暴露。本方法有一个对透明层单独成型的阶段，但使用对有锥度的光阻层的部分腐蚀，以便暴露透明层的小边缘区域，用导电层(可以是不透明的)覆盖。

主权项

1.一种增加透明导电层电导率的方法，包括：将光阻材料层沉积和成型为与透明导电层所希望的样式对应的形状；和利用光阻材料层将透明导电层成型，其中光阻材料层的边缘区域有锥度，该方法进一步包括以下步骤：将光阻材料层部分腐蚀，使得至少部分的边缘区域被完全除去，从而露出下面的透明导电层；利用金属层将透明导电层的暴露部分有选择地覆盖。