发明名称 TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP WITH ROTOR AND STATOR VANES
摘要
申请公布号 EP1354138(A1) 申请公布日期 2003.10.22
申请号 EP20010994664 申请日期 2001.11.15
申请人 LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 BEYER, CHRISTIAN;ENGLAENDER, HEINZ;KLINGNER, PETER;LAERBUSCH, MARTIN
分类号 F04D19/04;F04D29/38;(IPC1-7):F04D19/04;F04D29/32 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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