发明名称 HEAT TREATING METHOD AND HEAT TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20030082605(A) 申请公布日期 2003.10.22
申请号 KR20037011124 申请日期 2003.08.25
申请人 发明人
分类号 F27D19/00;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;F27D7/06;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 F27D19/00
代理机构 代理人
主权项
地址