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经营范围
发明名称
FILM THICKNESS MONITORING METHOD FOR DIELECTRIC SUBSTANCE THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS5575604(A)
申请公布日期
1980.06.07
申请号
JP19780148823
申请日期
1978.12.01
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAKASHIMA HIROKI;ICHIYAMA MASAO
分类号
G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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