METHOD FOR PRODUCING A THIN FILM COMPRISING IMPLANTATION OF GASEOUS SPECIES,申请号EP20010999973-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PRODUCING A THIN FILM COMPRISING IMPLANTATION OF GASEOUS SPECIES
摘要
申请公布号	EP1354346(A1)	申请公布日期	2003.10.22
申请号	EP20010999973	申请日期	2001.12.07
申请人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE	发明人	ASPAR, BERNARD;BRUEL, MICHEL
分类号	H01L21/265;H01L21/02;H01L21/301;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762	主分类号	H01L21/265
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