| 发明名称 | 工件激光加工装置的校准方法和装置 | ||
| 摘要 | 对于用激光束(2)进行工件(14)结构化来说，需要很高精度，这是因为否则的话要出现很大的预定结构的尺寸公差。在本发明方法中，测量一个位于物镜(8)前面的校准板(3)，其中校准板(3)的图象通过物镜(8)、偏转装置(7)和镜子(10)而被描绘到摄象机(11)上。镜子(10)对激光束(2)是透明的。控制装置(13)测量并存储图象偏差。随后，激光束(2)把校准标记描绘到一个位于物镜(8)前的样板(15)上。校准标记同样通过以下光路即物镜(8)、偏转装置(7)和镜子(10)而描绘到摄象机(11)上。根据校准标记的测定位置并考虑所测图象偏差地，测量并存储由光源(4)和激光束形成装置(5，6)引起的光偏差并且在加工工件时予以考虑。 | ||
| 申请公布号 | CN1124916C | 申请公布日期 | 2003.10.22 |
| 申请号 | CN99807074.2 | 申请日期 | 1999.07.01 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | L·米勒;M·波尔加;H·德斯托伊尔;M·范比森;F·罗斯 |
| 分类号 | B23K26/04 | 主分类号 | B23K26/04 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨松龄 |
| 主权项 | 1.一种用于加工工件(14)的激光加工装置(1)的校准方法，该激光加工装置(1)具有一激光源(4)、一用于形成激光束(2)的装置(5，6)、一激光束(2)偏转器(7)和物镜(8)，其中：·将一块校准板(3)定位在物镜(8)的前面，·一个摄象机(11)记录下由物镜(8)和偏转器(7)产生的校准板(3)的图象，其中摄象机(11)的视野通过偏转器(7)受控制地移到校准板(3)上，·在一个连接在摄象机(11)后面的控制装置(13)中根据图象确定由偏转器(7)、物镜(8)和摄象机(11)引起的图象偏差，·将一个样板(15)位于物镜(8)前面，·借助对偏转器(7)的预定控制而通过激光束(2)把校准标记描绘到样板(15)上，·测量校准标记的位置，·在考虑了图象偏差的情况下，根据校准标记的测量位置确定光源(4)和形成激光束(2)的装置(5，6)的光偏差，·存储光偏差和图象偏差并且在加工工件(14)时进行补偿。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||