发明名称 半导体封装及其制造方法
摘要 本发明之半导体封装之特征系具有(a)提供一封装基材;(b)于封装基材上形成用于朝其他装置之安装的安装端子;(c)于封装基材上形成与安装端子电性连接的配线层;(d)在封装基材上搭载与配线层电性连接的半导体晶片;(e)在配线层与塑模树脂层之间、及封装基材与塑模树脂层之间形成低弹性树脂层;以及(f)利用塑模树脂层封闭封装基材、配线层、半导体晶片及低弹性树脂层。其中低弹性树脂层之弹性率E低于塑模树脂层之弹性率E。
申请公布号 TW558817 申请公布日期 2003.10.21
申请号 TW091104006 申请日期 2002.03.05
申请人 东芝股份有限公司 发明人 仓 宽;细美英一;小康弘;长冈 哲也;永野 顺也;大井田 充;福田昌利;黑须笃;河合 薰;山方 修武
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一;萧锡清 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种半导体封装,包括:(a)提供一封装基材;(b)于该封装基材上形成用于朝一其他装置之安装的一安装端子;(c)于该封装基材上形成与该安装端子电性连接的一配线层;(d)在该封装基材上搭载与该配线层电性连接的一半导体晶片;(e)在该配线层与一塑模树脂层之间、及该封装基材与该塑模树脂层之间形成一低弹性树脂层;以及(f)利用该塑模树脂层封闭该封装基材、该配线层、该半导体晶片及该低弹性树脂层,其中该低弹性树脂层之弹性率低于该塑模树脂层之弹性率。2.如申请专利范围第1项所述之半导体封装,其中该低弹性树脂层仅形成于该配线层与该塑模树脂层之间。3.如申请专利范围第2项所述之半导体封装,其中该低弹性树脂层至少形成于位于该安装端子上之该配线层与该塑模树脂层之间。4.如申请专利范围第3项所述之半导体封装,其中该低弹性树脂层至少形成于位于会发生最大扭曲之该安装端子上之该配线层与该塑模树脂层之间。5.如申请专利范围第1项所述之半导体封装,更包括利用一下充式树脂层封闭该配线层与该半导体晶片之间的电性连接部份。6.一种半导体封装的制造方法,包括:(a)于一封装基材上形成一配线层;(b)于该配线层上与一半导体晶片电性连接;(c)于该封装基材及该配线层上形成一低弹性树脂层,该弹性树脂层之弹性率低于一塑模树脂层之弹性率;以及(d)于该封装基材、该配线层、该半导体晶片及该低弹性树脂层之上形成该塑模树脂层。7.如申请专利范围第6项所述之半导体封装的制造方法,其中该低弹性树脂层仅形成于该配线层与该塑模树脂层之间。8.如申请专利范围第7项所述之半导体封装的制造方法,其中该低弹性树脂层至少形成于位于一安装端子上之该配线层与该塑模树脂层之间。9.如申请专利范围第8项所述之半导体封装的制造方法,其中该低弹性树脂层至少形成于位于会发生最大扭曲之该安装端子上之该配线层与该塑模树脂层之间。10.如申请专利范围第6项所述之半导体封装的制造方法,更包括利用一下充式树脂层封闭该配线层与该半导体晶片之间的电性连接部份。图式简单说明:第1A图至第1B图所示系为习知之半导体封装中,使用下充式树脂,将半导体晶片与配线层之连接部封闭的封装剖面图。其中,第1A图系表示封装单体,第1B图系表示安装状态。第2A图至第2C图所示系为用以说明第1A图至第1B图所示之半导体封装之制造方法的示意图。第3A图至第3B图所示系为习知之半导体封装中,不使用下充式树脂仅使用塑模树脂,将半导体晶片与配线层之连接部封闭的封装剖面图。其中,第3A图系表示封装单体,第3B图系表示安装状态。第4A图至第4C图所示系为用以说明第3A图至第3B图所示之半导体封装之制造方法的示意图。第5A图至第5C图所示系为本发明之第一较佳实施例之半导体封装的剖面图、侧面图及斜视图。其中第5A图所示系为剖面图,第5B图所示系为侧面图,第5C图所示系为斜视图。第6图所示系为第5A图至第5C图所示之半导体封装之安装基板在安装状态下的剖面图。第7A图至第7C图所示系为用以说明第5A图至第5C图所示之半导体封装之制造方法的剖面图。第8A图至第8C图所示系为本发明之第二较佳实施例之半导体封装的剖面图、侧面图及斜视图。其中第8A图所示系为剖面图,第8B图所示系为侧面图,第8C图所示系为斜视图。第9A图至第9C图所示系为本发明之第三较佳实施例之半导体封装的剖面图、侧面图及斜视图。其中第9A图所示系为剖面图,第9B图所示系为侧面图,第9C图所示系为斜视图。第10A图至第10C图所示系为用以说明第9A图至第9C图所示之半导体封装之制造方法的剖面图。第11A图至第11C图所示系为本发明之第四较佳实施例之半导体封装的剖面图及底面图。第12图所示系为本发明之第五较佳实施例之半导体封装的剖面图。
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