发明名称 研磨粉末分散方法及其系统
摘要 本发明提供一种研磨粉末分散系统,首先将氧化铝原料粉末投入原料供应及破袋单元进行破袋湿润后,使粉末顺流而下至搅拌桶,藉由分散叶轮高速转动,氧化铝粉末在桶内上下剧烈翻动,而与叶轮产生碰击和剪切作用,使聚集体破坏,达到迅速分散和均匀混合的目的,再经由品质检测系统检测PH值/Wt%/粒径大小分布以确保品质。然后再稀释至目标值,输送至供应桶准备随时待命送出所制成的原始研磨液。
申请公布号 TW558484 申请公布日期 2003.10.21
申请号 TW091104154 申请日期 2002.03.06
申请人 亚泰半导体设备股份有限公司 发明人 叶高华;李威震;徐宏信;郑圣弘
分类号 B24B57/00 主分类号 B24B57/00
代理机构 代理人 吴宏山 台北市内湖区行爱路一七六号三楼
主权项 1.一种分散研磨粉末的方法,用以分散一原料袋内的研磨粉末,且形成一原始研磨液,该方法包含下列步骤:(a)置放该原料袋于一下料盒内,使该原料袋受到该下料盒内底部之一对具有中央缺口的破袋切刀的破坏;(b)由一进水口注水,透过管路运送水流至一第四方向变换阀及一第五方向变换阀,控制该第四方向变换阀及该第五方向变换阀以使该水流停止于该第四方向变换阀的一口及该第五方向变换阀的一口;(c)切换该第四方向变换阀,使水流能够通过该第四方向变换阀而透过管路流至设置于该对破袋切刀之中央缺口的一对喷水头,使该对喷水头对该研磨粉末进行湿润;(d)起动一第一马达,使连结该第一马达的第一搅拌轴转动,进而带动连结该第一搅拌轴的分散叶片,以致使对一搅拌桶内之液体进行搅拌,其中该搅拌桶相通于该下料盒,其以容纳该喷水头对该研磨粉末进行湿润后所形成之液体;(e)控制一第三方向变换阀,使该液体透过管路由该搅拌桶之排出口排出后,通过该搅拌桶之第一注入口又回至该搅拌桶内,且不断循环;(f)经一预定时间间隔,切换该第三方向变换阀,使该液体透过管路被运送至一第二方向变换阀;(g)控制该第二方向变换阀及该第一方向变换阀,使该液体透过管路被运送至一品质检测单元,再由该品质检测单元流出,通过该搅拌桶之第二注入口而回至该搅拌桶内;(h)如果该液体符合该品质检测单元的检测,则同时切换该第一方向变换阀及该第五方向变换阀,使水流能够通过该第五方向变换阀,且透过管路流经该第一方向变换阀,接着被运送至该品质检测单元,最后入该搅拌桶内;(i)当该搅拌桶内的液体受该水流的稀释而达到一预定浓度时,切换该第一方向变换阀,使水流无法通过该第一方向变换阀;(j)切换该第二方向变换阀,使该液体透过管路自该搅拌桶被运送通过一供应桶之第一注入口而至该供应桶内;(k)起动一第二马达,使连结该第二马达的第二搅拌轴转动,进而带动连结该第二搅拌轴的防沉降叶片,以致使对该供应桶内之液体进行搅拌;(l)该供应桶内之液体通过该供应桶之排出口,且透过管路被运送至一供应端及该供应桶之第二注入口而回至该供应桶内。2.如申请专利范围第1项所述的方法,其中该研磨粉末的成分系氧化铝(A12O3)。3.如申请专利范围第1项所述的方法,其中该第一方向变换阀、及该第二方向变换阀、及该第三方向变换阀分别系一个三口二位置方向变换阀。4.如申请专利范围第1项所述的方法,其中该第四方向变换阀、及该第五方向变换阀分别系一个二口二位置方向变换阀。5.一种研磨粉末分散系统,用以分散一原料袋内的研磨粉末,且形成一原始研磨液,其至少包含:一原料供应及破袋单元,包含:一下料盒,以放置该原料袋于其内;一对具有中央缺口的破袋切刀,设置于该下料盒内底部,用以破坏该原料袋;一对喷水头,分别设置于该对破袋切刀之中央缺口,用以湿润该原料袋内之研磨粉末;一粉末混合分散单元,包含:一搅拌桶,相通于该原料供应及破袋单元的下料盒,以容纳该喷水头对该研磨粉末进行湿润后所形成之液体;一分散叶片,用以搅拌该搅拌桶内之液体,使该液体均匀;一第一搅拌轴,连结该分散叶片,其用以带动该分散叶片;一第一马达,连结该第一搅拌轴,其用以转动该第一搅拌轴;一品质检测单元,用以检测来自于该粉末混合分散单元之搅拌桶内的液体品质;一供应准备单元,用以供应该原始研磨液至一供应端,其包含:一供应桶,以容纳由该粉末混合分散单元之搅拌桶所排出之液体;一防沉降叶片,用以搅拌该供应桶内之液体,而防止该液体内之颗粒沉降;一第二搅拌轴,连结该防沉降叶片,其用以带动该防沉降叶片;一第二马达,连结该第二搅拌轴,其用以转动该第二搅拌轴。6.如申请专利范围第5项所述的系统,其中该原料供应及破袋单元进一步包含一辅助破袋切刀,其位于该对破袋切刀之间,用以辅助对该原料袋进行破坏。7.如申请专利范围第5项所述的系统,进一步包含:一第一方向变换阀,其透过管路连接该品质检测单元;一第二方向变换阀,其透过管路连接该第一方向变换阀及该供应桶之第一注入口;一第三方向变换阀,其透过管路连接该第二方向变换阀及该搅拌桶之第一注入口、排出口;一第四方向变换阀,其透过管路连接一进水口及该对喷水头;一第五方向变换阀,其透过管路连接该进水口及该第一方向变换阀。8.如申请专利范围第7项所述的系统,其中该供应桶透过管路连接该供应端及该供应桶之第二注入口、排出口。9.如申请专利范围第8项所述的系统,其中该品质检测单元透过管路连接该搅拌桶之第二注入口。10.如申请专利范围第5项所述的系统,其中该研磨粉末的成分系氧化铝(A12O3)。11.如申请专利范围第7项所述的系统,其中该第一方向变换阀、及该第二方向变换阀、及该第三方向变换阀分别系一个三口二位置方向变换阀。12.如申请专利范围第7项所述的系统,其中该第四方向变换阀、及该第五方向变换阀分别系一个二口二位置方向变换阀。图式简单说明:图一系本发明之研磨粉末分散系统的内部方块图。图二A至D系图一之原料供应及破袋单元的结构图。图三系图一之粉末混合分散单元与原料供应及破袋单元结合成的结构图。图四系图一之供应准备单元的结构图。图五A及图五B系本发明之研磨粉末分散系统的运作流程图。
地址 台北市大安区敦化南路二段二六七号三楼之一
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