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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2003236329(A1) 申请公布日期 2003.10.20
申请号 AU20030236329 申请日期 2003.04.08
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NOBUO ISHII
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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